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当年为了摩尔定律（Moore’s law）的延续，让半导体先进制程可以继续发展下去，在荷兰半导体设备商艾司摩尔（ASML）发展光刻设备不顺利，缺发资金之际，包括英特尔、台积电、三星都相继投资了艾司摩尔。
如今，在艾司摩尔发展已经上轨道，极紫外光光刻机（EUV）也陆续出货，股价由当时的每股40欧元涨到当前接近150欧元之后，继台积电、三星之后，英特尔也再次出脱艾司摩尔的股票。
时间回到2012年7月，当时英特尔宣布向艾司摩尔投资33亿欧元（约合当时41亿美元），以协助其开发EUV光刻设备及18英寸晶圆。
而随着英特尔投资艾司摩尔之后，台积电与三星也响应艾司摩尔的“客户联合投资专案”（Customer Co-Investment Program），也和英特尔采取了相同的方式，即一部分现金支持，一部分购买股权的方式取得了艾司摩尔相应的股份。
其中台积电方面购入了约艾司摩尔5%的股权，三星则是买下了约3%的股权，同时成为艾司摩尔的策略投资股东。而3家公司当时投资艾司摩尔，都是以协助发展光刻设备为目标。所以，到后来才有在先进发展制程中，3家公司可以领先其他业者，首先获得EUV设备的传闻。
如今，在艾司摩尔发展EUV设备逐渐上轨道之后，3家投资艾司摩尔的股东也陆续出脱手中的持股。在三星与台积电分别出脱艾司摩尔的持股之后，英特尔也进行了股份处分的动作。
2017年6月，英特尔仍持有10%的艾司摩尔股票，2017年底首次处分到5%以内。日前英特尔又一次处分了艾司摩尔的股票，使得持股比率更降至3%以内。
虽然，，就当时的买进价格约每股40欧元，到现在已经涨到每股接近150欧元来说，英特尔处分艾司摩尔的股票绝对是个赚钱的投资。不过，对英特尔来说，真正的意义似乎并不在此。
毕竟英特尔从1997年就开始进行EUV设备的研究，市场原以为英特尔会领先其他竞争对手，最早推出EUV技术制程。但事与愿违，如今台积电与三星都遥遥领先英特尔。
根据艾司摩尔所提出的2018年第2季财报指出，当季EUV设备的出货量是4台，比预期的数量多了1台，而且目前手中还有7台的订单。
整体而言，艾司摩尔2018年预计的出货量将达到20台，2019年将达到30台，而这些设备大多数都是由台积电或三星所订购。而格芯（Globalfoundries）与中芯国际也各订了1台，都是要用于7纳米制成的研究。但是，如今格芯宣布退出7纳米及其以下先进制程，正在寻求该台EUV设备的退货及转售。
而就艾司摩尔的财报来看，英特尔究竟有没有订购EUV设备并不清楚。只是，即便有购买，可以肯定的是数量也不会多，而且只是用于研究；因为就目前规划的时程来看，英特尔的10纳米制程最快有可能在2019年中推出。
而如果顺利的话，7纳米制程则要到2020年亮相，2021年才会投产。不过，在目前英特尔制程进展仍面对许多瓶颈的情况下，届时是不是能顺利推出还是个问号，而是不是能使用上EUV设备就更是难以确定了。